Plasmaanregung
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Plasmaanregung.
- Frequenzbereiche:
- Niederfrequenz (kHz bis 100 kHz-Bereich)
- Radiofrequenz (13,6 MHz)
- durchstimmbar 0-50 MHz
- Mikrowellen (2,45 GHz)
- Leistung:
- einige W bis ca. 1 kW
- Leistungsdichten bis max. ca. 8 W/cm2
- kontinuierliche und gepulste Anregung