Die zu behandelnden Waren (Folien, Membranen, Textilien, Polymere, ...) werden, je nach Anforderung, einige Sekunden oder mehrere Minuten dem Plasma ausgesetzt. Im wesentlichen können vier Effekte, je nach den Behandlungsparametern erwirkt werden:
1. Reinigung /Ätzabtrag: Der reinigende Effekt ist meist mit einer Veränderung der Benetzbarkeit und topographischer Veränderungen (siehe Punkt 2) verbunden. Dies führt z. B. zu einer Verbesserung der Bedruckbarkeit, der Anfärbbarkeit, der Adhäsion usw.
2. Erhöhung der Mikrorauhigkeit: Dies bewirkt z. B. eine verbesserte Filzfreiausrüstung von Wolle.
3. Radikalstellenbildung: Durch die Radikalstellen kommt es zu Sekundärreaktionen, wie z. B. die Vernetzung. Weiterhin stellen sie den Ausgangspunkt für Pfropfpolymerisationen und die Reaktion mit Luftsauerstoff zur Hydrophilierung dar.
4. Durch die Plasmapolymerisation ist man in der Lage, Schichten mit gewünschten Eigenschaften auf den Substraten abzuscheiden.
Der Vorteil der Plasmabehandlung ist, dass sie an der Oberfläche der Textilien stattfindet und somit die Volumeneigenschaften der Fasern weitgehend erhalten bleiben.